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精密干涉檢測(cè)與機(jī)器視覺(jué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)指導(dǎo)書 讀者對(duì)象:本科生教材
本書以自行研制的先進(jìn)光電微納檢測(cè)技術(shù)及信號(hào)調(diào)制與圖像處理系統(tǒng)為基礎(chǔ),開(kāi)展6個(gè)光電微納檢測(cè)實(shí)驗(yàn):①數(shù)字波面干涉儀檢測(cè)平面鏡面形;②偏振干涉圖像調(diào)節(jié)及處理與系統(tǒng)誤差標(biāo)定;③數(shù)字波面干涉儀球面面形檢測(cè);④單幅干涉圖相位恢復(fù)實(shí)驗(yàn);⑤非球面光學(xué)性質(zhì)及通用化檢測(cè);⑥非球面高精度零位干涉檢測(cè)。通過(guò)實(shí)驗(yàn),使學(xué)生深刻理解光機(jī)電算一體化檢測(cè)系統(tǒng)“以光學(xué)原理為核心、電路控制為輔助、計(jì)算機(jī)及軟件技術(shù)做提升”的特點(diǎn),掌握光電干涉檢測(cè)系統(tǒng)的調(diào)整和實(shí)驗(yàn)方法。
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