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壓電薄膜體聲波諧振器及濾波器設計

壓電薄膜體聲波諧振器及濾波器設計

定  價:78 元

        

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  • 作者:吳秀山 著
  • 出版時間:2025/3/1
  • ISBN:9787122474636
  • 出 版 社:化學工業(yè)出版社
  • 中圖法分類:TN62;TN713 
  • 頁碼:168
  • 紙張:
  • 版次:01
  • 開本:小16開
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讀者對象:本書可以作為從事FBAR 器件研究與設計,特別是FBAR 濾波器設計人員、微電子工程技術人員的參考用書,也可以作為相關專業(yè)研究生的參考用書。

本書主要講述壓電薄膜體聲波諧振器(Film Bulk Acoustic Resonators,FBAR)的工作原理,推導FBAR 的電學阻抗表達式,由此構建其Mason 模型,對其底電極、頂電極、壓電層的結構參數,以及有效諧振面積對器件諧振頻率的影響進行模擬仿真與驗證,并針對FBAR 的溫度漂移提出有效的溫度補償措施;其次介紹FBAR 的二維與三維建模過程,利用有限元分析法研究FBAR 的電極形狀、面積及器件結構對諧振模態(tài)的影響,并從有限元分析中提取相關損耗參數,修正和提高Mason 電學模型的精度;最后分析FBAR 濾波器的工作原理,從濾波器的級聯方式、串并聯FBAR 的有效諧振面積比、濾波器的級聯階數等方面進行研究,給出FBAR 濾波器優(yōu)化設計過程。
本書可以作為從事FBAR 器件研究與設計,特別是FBAR 濾波器設計人員、微電子工程技術人員的參考用書,也可以作為相關專業(yè)研究生的參考用書。
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