"本書根據(jù)編者在微納加工技術(shù)與應(yīng)用研究生創(chuàng)新課程教學(xué)經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上編撰而成。該課程旨在通過對(duì)微納加工技術(shù)的課堂講授并結(jié)合上機(jī)實(shí)操，使學(xué)生們能夠較全面掌握微納加工關(guān)鍵工藝；同時(shí)，依托本校微納技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)團(tuán)隊(duì)，學(xué)生們能夠完成以工藝創(chuàng)新為導(dǎo)向的課程設(shè)計(jì)。通過線上教學(xué)、課堂教學(xué)、案例示范教學(xué)和實(shí)踐教學(xué)相結(jié)合，為學(xué)生提供多場(chǎng)景、全方位、理論和實(shí)踐結(jié)合、案例示范相伴的教學(xué)新模式。
本書內(nèi)容覆蓋了微納加工工藝原理與操作、表征與測(cè)試方法以及應(yīng)用創(chuàng)新案例。本書第一篇是微納加工技術(shù)與應(yīng)用綜述；第二篇介紹微納加工關(guān)鍵工藝；第三篇是微納技術(shù)創(chuàng)新案例，詳細(xì)介紹了集成電路、光電、機(jī)械、材料等學(xué)科領(lǐng)域的十一個(gè)基于微納加工技術(shù)的前沿課題。
本書可以作為微電子、集成電路、光學(xué)工程、物理學(xué)等專業(yè)本科生以及工科相關(guān)專業(yè)碩士（博士）研究生的專業(yè)選修課教材；本書還可面向從事微納技術(shù)研究或?qū)ξ⒓{加工技術(shù)感興趣的科研人員及愛好者參考使用。"