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壓力傳感器的原理、設計及應用研究
本書是作者結合長期教學實踐經驗和科研成果精心編寫而成的。全書共九章,第一章介紹了壓力傳感器的背景及現狀;第二至五章闡述了壓力傳感器的原理、設計、標定與校準及其在不同領域的應用;第六、七章重點分析了新型柔性薄膜壓力傳感器的設計開發(fā)及應用;第八、九章深入闡述了多晶硅納米薄膜壓力傳感器的測試及其應用研究。本書編排合理、內容豐富,可作為電氣工程、電子信息工程、人工智能、儀器儀表等專業(yè)的教材,也可供從事傳感器、測控技術工作的工程技術人員參考與借鑒。
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