RF MEMS（射頻微機電系統(tǒng)）是MEMS（Micro Electromechanical System,微機電系統(tǒng)）技術的重要應用領域之一。本書內容覆蓋了RF MEMS的理論、設計和大部分RF MEMS器件，RF MEMS技術可望實現和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、處理、傳輸、處理和執(zhí)行于一體的系統(tǒng)集成芯片（SOC）成為可能。本書適合高等院校微電子技術、微波技術、集成電路專業(yè)、電子科學與技術、電子信息專業(yè)、微機電系統(tǒng)（MEMS）技術領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀使用。